开机前检查及准备
microfleX 系列,不需要气体;
autofleX,ultrafleX 系列:
打开碰撞气——高纯氩气钢瓶阀门及减压阀调整至压力 0.3 Mpa;
ultrafleX 系列,打开 Slide Valve 高纯氮气钢瓶阀门及减压阀调整至压力 0.5 Mpa;
打开供电总开关及UPS电源开关,调整UPS电源主机至正常供电绿灯状态(非旁路供电,非电池供电)
打开电脑,显示器,打开质谱主机电源开关,并启动开关钥匙(顺时针旋转90°);
打开FlexControl控制软件,在Vacuum真空界面点击 Evac.按钮,启动真空系统;
在真空值没有达到最佳状态时,务必保持在Sepctrometer界面Switch off高压电源,待真空值达到最佳状态后,即可开始测试;
microfleX系列Source High vacuum 低于 9×10e-7mbar;
autofleX系列Source High vacuum 低于 9×10e-7mbar;
ultrafleX系列Source/Analyzer High vacuum 低于 9×10e-7mbar;